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CIF推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結(jié)構(gòu)設計,優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡單方便,易維護。??
產(chǎn)品特點
u?7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
u?PLC控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
u?采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計(CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制精準。
u?氣體返填吹掃,HEPA高效過濾,防止二次污染。
u?316不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
u?采用60度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。
u?上控制下艙體結(jié)構(gòu)設計,結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。
u?內(nèi)凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。
u?處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。
u?樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。
u?安全保護,艙門打開,自動關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)
型號 | CPC-E | CPC-Eplus | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus | ||
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | ||
射頻功率 | 10-300W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | ||
匹配器 | 自動匹配器 | 自動匹配器 | 自動匹配器 | |||||
激發(fā)方式 | 電容式或電感耦合(ICP) | 電容式或電感耦合(ICP) | 電容式或電感耦合(ICP) |
公司地址:長春市經(jīng)開區(qū)深圳街與浦東路交匯虹灣國際B座122室
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